CET供配电异常信息捕捉及故障诊断分析解决方案通过1024点/周波高速采样与20μs级瞬态捕捉能力，实时监测工艺设备电能质量状况，生成多维评估报告。方案集成分布式联动录波、系统级暂降预警评估、扰动源定位及智能分析诊断等核心功能，可有效捕捉供电系统潜在异常扰动，预防电压暂降导致的停产风险；事故后通过快速故障定位与诊断分析，缩短故障修复时间，大幅提升运维效率，保障供电高可靠性与生产连续性，减少晶圆报废风险，提升良品率与产能效率，构建闭环电能质量免疫体系。